CIF掃描電鏡等離子清洗機
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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內碳氫化合物的清洗。
更新時間：2024-03-19 09:53:02
產品特點
◆ ?遠程離子清洗源
◆??清洗快速、高效
◆ ?低轟擊損傷
技術參數
?
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調 |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
氣體控制 | 標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源 / 功率 | AC220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器， ??氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
產品尺寸 | L320xW385xH465mm |
| L440xW535xH725mm |
整機重量 | 25 |
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